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技術(shù)文章
CKD的工藝氣體減壓閥擁有專業(yè)密封性能、滯后性和重復(fù)性。
產(chǎn)品特點(diǎn)
⊙使用示例
⊙高耐腐蝕?高品質(zhì)材料
⊙優(yōu)化設(shè)計(jì)
⊙高密封性
⊙高微小流量控制性
⊙減少遲滯
⊙豐富的產(chǎn)品陣容
蝕刻、成膜裝置中工藝氣體的高精度控制
◆壓力控制·減壓
◆壓力穩(wěn)定化
● 采用高耐腐蝕材料 ● 實(shí)施電解研磨、超精密加工、超精密清洗
.
02 優(yōu)化設(shè)計(jì)
●盡量減少滑動(dòng)部
● 膜片結(jié)構(gòu)的優(yōu)化
● 優(yōu)化材質(zhì)，實(shí)現(xiàn)平穩(wěn)動(dòng)作
03 高密封性
有助于工藝穩(wěn)定化。
● 閥座部的優(yōu)化設(shè)計(jì)和超精密加工
● 最大限度抑制閥閉動(dòng)作時(shí)的2次側(cè)泄漏（流出）
04 高微小流量控制性
實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定且平穩(wěn)的動(dòng)作
● 閥座部形狀的優(yōu)化設(shè)計(jì)
● 微小流量下也可穩(wěn)定控制
05 減少遲滯
安全滿足目標(biāo)壓力。
● 采用高品質(zhì)材料
● 超精密加工
06 豐富的產(chǎn)品陣容
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